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单晶硅基材

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4微米叉指电极单晶硅光电检测气体湿度生物传感器芯片MEMS工艺IDE	8μm单晶硅叉指电极高精度高稳定性化学气体生物传感器光电检测	30 μm硅基叉指电极高精度高稳定性MEMS气体生物传感器电容阵列
3 μm硅基叉指电极电容阵列气体湿度生物传感器芯片MEMS高精度	10μm硅基二氧化硅叉指电极高精度MEMS气体生物传感器光电检测	20μm硅基叉指电极电容阵列MEMS气体生物传感器光电检测高稳定性
3μm硅基叉指电极电容阵列MEMS气体生物传感器光电检测高稳定性	10μm硅基叉指电极高精度高稳定性MEMS气体生物传感器光电检测	20μm叉指金电极单晶硅基电容阵列高精度科研生物传感器芯片MEMS
30微米单晶硅叉指电极光电检测气体湿度生物传感器芯片MEMS高精度	5 μm硅基叉指电极电容阵列气体湿度生物传感器芯片MEMS高精度	2 μm硅基叉指电极气体光学湿度医疗生物传感器芯片MEMS高精度

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