E1-M适用于石墨烯,硫化钼,黑磷等单层材料精确定点转移,以及多层范德华异质结的制备,实现了低维材料转移的可视化操作。转移系统由显微系统、三轴转移台、真空吸附加热集成样品台等部分组成。目标衬底载物台可面内大角度旋转,是研究异质结特性、空间反演对称性破缺、以及二维材料不同堆叠方式影响的有力工具。高稳定性、高精度的机械设计及高质量的显微成像系统使得小于5μm的微小样品的精确转移得以实现。
E1-M在保留了E1-T优异的转移集成操作的基础上,通过奥林巴斯金相显微镜光学系统的升级,极高地提高了单层、多层及各类范德华异质结观察的分辨率及清晰度,完美整合了观察、转移、成像记录等器件制备全流程操作。E1-M还拥有众多配置选项,包括样品台高温模块,拉曼测试模块,荧光测试模块等,配套阻尼式光学防震平台,同时支持手套箱内使用环境安装。
主要配置*
衬底载物平台
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XY 方向两轴平移,行程 60mm;绕 z 轴手动调节旋转±90°;样品台加热最高温度为150 ℃;样品台带样品真空吸附功能
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载玻片移动平台
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XY方向两轴平移,行程60mm;Z轴升降滑台,行程10mm;绕X轴和Y轴倾斜台,倾斜角度±2°;快速旋转进样装置
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显微镜
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奥林巴斯BX46显微镜镜体;宽视场正像三目镜筒;原位1X,2X中间变倍;4倍,10倍,20倍,40倍4个物镜,2个10X目镜
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显微相机
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1200 万像素USB3.0 超高清CMOS 显微相机;提供显微相机操作软件
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照明系统
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反射式同轴照明系统,1W白色LED
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控制机箱
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系统电学控制集成,控制样品台加热、吸附功能,控制显微照明亮度调节
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电脑
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i3处理器,8G内存,1T硬盘,23英寸高清显示器
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选配功能
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载玻片移动平台电动Z轴模块,样品台高温模块,手套箱内使用环境安装,配套阻尼式光学防震平台
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* 详细参数请下载详细配置文件
标准配置
E1-M系统包括四个子系统:衬底载物平台调节子系统、载玻片移动平台调节子系统、显微成像子系统(显微镜、反射式同轴照明器、调焦控制器、相机)、电路控制子系统。
衬底载物平台XY 方向两轴手动平移,行程 60 mm;绕 z 轴手动调节旋转±90°,兼具粗调和细调,旋转精度可达±1°;样品台加热最高温度为150 ℃;样品台带样品真空吸附功能确保转移过程中目标样品位置精确固定。真空泵可通过电磁阀控制,真空泵流量为50 L/min 。
载玻片移动平台xyz三轴可调,XY 行程60 mm,测微丝杆控制;Z 轴行程10 mm,分辨率0.01 mm;水平倾斜角调节±2°,用于调节转移时衬底及载玻片上样品的平行度;且具有快速旋转进样装置。
显微成像系统由显微镜、反射式同轴照明器、调焦控制和相机组成。采用奥林巴斯BX46照明器托架,配备原位中间镜筒变倍器(1 倍,2 倍),可实现不改变物镜倍率的条件下,实现图像原位2 档可调放大倍率。物镜采用4,10 倍长工作距离消色差物镜,20,40 倍长工作距离平场半复消色差物镜。1200 万像素USB3.0 超高清CMOS 显微相机,提供显微相机操作软件,可进行照片拍摄,录制视频,测量样品尺寸,分屏对比等功能。
40倍补偿物镜
普通物镜观察载玻片下方样品时,受到载玻片及PDMS的厚度影响,会产生像差。为了进一步提高高倍物镜下的成像清晰度,E1-M转移平台专门针对载玻片下材料的显微观察进行成像优化,确保高倍物镜下的观察效果。
选配功能
选配一:样品台高温模块
选配二:载玻片移动平台电动Z轴模块
电动Z轴采用进口电机及控制器,行程范围13 mm,最小行程精度0.5 um。速度多档可选,兼具连续行进功能和单步行进功能,适用于异质结慢速贴合、手套箱内自动贴合等。通过精确控制Z轴运动速度,可以减少转移异质结贴合过程中形成的层间气泡,也可使得手套箱中Z轴的精细控制得以实现。
选配三:手套箱内使用环境安装
对于某些特殊的对环境要求高的材料如钙钛矿等的转移可配备转移系统手套箱内使用环境安装。
选配四:配套阻尼式光学防震平台
配套的阻尼式光学防震平台,降低高倍操作下的环境扰动(长宽厚900*600*100mm台面长宽厚600*600*100mm台面等多种规格可选)
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