E1-T多功能高精度二维材料转移平台

【编号】BK2020052963

【CAS号】

【货号】

【规格】

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E1-T多功能高精度二维材料转移系统是国内首创低维材料异质结器件转移商用解决方案，适用于石墨烯，硫化钼，黑磷等单层材料精确定点转移，以及多层范德华异质结的制备，实现了低维材料转移的可视化操作。转移系统由显微系统、三轴转移台、真空吸附加热集成样品台等部分组成。目标衬底载物台可面内大角度旋转，是研究异质结特性、空间反演对称性破缺、以及二维材料不同堆叠方式影响的有力工具。高稳定性、高精度的机械设计及高质量的显微成像系统使得小于5μm的微小样品的精确转移得以实现。

E1-T还拥有众多配置选项，包括金刚石高压对顶砧转移模块，光纤端面材料转移模块，样品台高温模块，快速升降温模块等，同时支持手套箱内使用环境安装。

主要配置*

衬底载物平台	XY 方向两轴平移，行程 13mm；水平倾斜角调节3~5度；绕 z 轴手动调节旋转±90°；样品台加热最高温度为150 ℃；样品台带样品真空吸附功能
载玻片移动平台	XYZ方向三轴手动平移，行程25mm；快速旋转进样装置
单筒显微镜	变倍比1:6.5，变倍范围0.7X-4.5X；20倍超长工作距离物镜，31 mm工作距离
显微相机	1920*1080高灵敏度CMOS显微相机；提供显微相机操作软件
高稳定显微观察支架	XY 方向两轴平移，行程 50mm大范围调节显微镜观察位置
控制机箱	系统电学控制集成，控制样品台加热、吸附功能，控制显微照明亮度调节
显示器	24英寸1920*1200全高清专业显示器
选配功能	光纤端面材料转移模块，样品台高温模块，快速升降温模块，手套箱内使用环境安装，配套阻尼式光学防震平台

* 详细参数请下载详细配置文件

标准配置

显微支架经过多次改良设计，具有高稳定性，保证设备操作状态下显微成像系统无抖动。同时可进行XY方向两轴平移，行程可达50mm，便于大范围调节显微镜观察位置查找样品。

显微成像光路系统由连续可调变倍单筒，同轴照明系统，20倍超长工作距离物镜及1920*1080高灵敏度CMOS显微相机，24英寸全高清专业显示器组成，综合放大倍数可达3500倍（类似金相显微系统45倍物镜放大效果）。可清晰显示硅片上的手撕单层石墨烯样品。提供显微相机操作软件，可进行照片拍摄，录制视频，测量样品尺寸，分屏对比等功能。

衬底载物平台XY 方向两轴手动平移，行程 13mm；绕 z 轴手动调节旋转±90°，兼具粗调和细调，旋转精度可达±1°；水平倾斜角调节3~5度，用于调节转移时衬底及载玻片上样品的平行度；样品台加热最高温度为150 ℃；样品台带样品真空吸附功能确保转移过程中目标样品位置精确固定。真空泵可通过电磁阀控制，真空泵流量为50L/min。

载玻片移动平台XYZ方向两轴手动平移，行程25mm，精度可达0.001mm。可保证样品位置的调节需求，且具有快速旋转进样装置。

选配功能

选配一：样品台高温模块

样品台加热最高温度为220~240 ℃模块（带微型风冷）

选配二：快速升降温模块

快速升降温模块可实现快速升降温控制，升温速度最高2℃/s，降温速度最高1.5℃/s，最高设定温度150度，最低设定温度10度。同时可实现精确升降温控制，升降温速度可以达到0.01°/s，最大偏差小于0.2℃，稳定温度偏差小于0.03℃。电脑端软件或温控面板操作，实时显示温度并且控制升降温速度。

选配三：光纤端面材料转移模块

通过特殊设计的夹具和样品台，可同时满足二维材料常规转移和光纤端面材料转移，配备SMA，FC-SC光纤接口，可进一步满足将二维材料转移至光纤端面的实验需求。

选配四:手套箱内使用环境安装

对于某些特殊的对环境要求高的材料如钙钛矿等的转移可配备转移系统手套箱内使用环境安装。

选配五：配套阻尼式光学防震平台

配套的阻尼式光学防震平台，降低高倍操作下的环境扰动（长宽厚900*600*100mm台面长宽厚600*600*100mm台面等多种规格可选）

☆☆☆其他特殊需求可联系定制。

湿法转移操作步骤

干法转移操作步骤

E1系列二维材料转移系统用户发表论文：

北京科技大学张跃教授研究团队：

1. Piezotronic Effect on Interfacial Charge Modulation in Mixed-dimensional Van der Waals Heterostructure for Ultrasensitive Flexible Photodetectors, Nano Energy2019. Junli Du, Qingliang Liao, Zheng Zhang, Yue Zhang.

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2. Self-Healing Originated van der Waals Homojunctions with Strong Interlayer Coupling for High-Performance Photodiodes, ACS Nano 2019, Xiankun Zhang, Zheng Zhang, Yue Zhang.

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3. Strain-Engineered van der Waals Interfaces of Mixed-Dimensional Heterostructure Arrays, ACS Nano 2019, Baishan Liu, Zheng Zhang, Yue Zhang.

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北京纳米能源所王中林院士团队：

4. Tunable WSe₂–CdS mixed-dimensional van der Waals heterojunction with a piezo-phototronic effect for an enhanced flexible photodetector, Nanoscale 2018, Pei Lin,Zhong Lin Wang.