20μm透明叉指电极石英玻璃电容阵列MEMS气体生物传感器光电检测
| 【编号】BK2021012710 | 【CAS号】cas | ||
| 【货号】BK2021012710 | 【规格】 | ||
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20微米透明叉指电极石英玻璃气体湿度生物传感器芯片MEMS高精度
1.外形尺寸: 5mm*8mm*0.7mm.
2.线宽: 20um，线距: 20um，指长: 2.1mm，叉指对数: 50(100指).3.电极衬底为石英玻璃，双面抛光，全透明;
4.金属层结构: Cr/Au，厚度分别为30nm，100nm;5.电极使用温度范围: -150℃~400°C ;
6.主要用于各类化学,物理及医疗传感器，性能可靠，质量稳定。7.大尺寸，大焊盘，好操作。
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1.外形尺寸: 5mm*8mm*0.7mm.
2.线宽: 20um，线距: 20um，指长: 2.1mm，叉指对数: 50(100指).3.电极衬底为石英玻璃，双面抛光，全透明;
4.金属层结构: Cr/Au，厚度分别为30nm，100nm;5.电极使用温度范围: -150℃~400°C ;
6.主要用于各类化学,物理及医疗传感器，性能可靠，质量稳定。7.大尺寸，大焊盘，好操作。
我们提供各种叉指电极，包括不同形状，不同尺寸，不同线宽线距，不同基材(氧化铝陶瓷，PI/PET柔性材料，单晶硅)，不同工艺(厚膜工艺，PCB工艺，MEMS工艺)。
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