10μm透明叉指电极石英玻璃电容阵列MEMS气体生物传感器光电检测
| 【编号】BK2021012708 | 【CAS号】cas | ||
| 【货号】BK2021012708 | 【规格】 | ||
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10微米透明叉指电极石英玻璃气体湿度生物MEMS
1.外形尺寸: 6mm*12mm*0.5mm.
2.线宽:10um，线距:10pm，指长:3.7mm叉指对数: 100(200指).
3.电极衬底为石英玻璃，双面抛光，全透明;4.金属层结构: Ti/Au，厚度分别为30nm，100nm;5.电极使用温度范围:-150℃~500℃;
6.主要用于各类化学,物理及医疗传感器,性能可靠,质量稳定。7.量大价格从优。
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1.外形尺寸: 6mm*12mm*0.5mm.
2.线宽:10um，线距:10pm，指长:3.7mm叉指对数: 100(200指).
3.电极衬底为石英玻璃，双面抛光，全透明;4.金属层结构: Ti/Au，厚度分别为30nm，100nm;5.电极使用温度范围:-150℃~500℃;
6.主要用于各类化学,物理及医疗传感器,性能可靠,质量稳定。7.量大价格从优。
我们提供各种叉指电极，包括不同形状，不同尺寸，不同线宽线距，不同基材（氧化铝陶瓷，PI/PET 柔性材料，单晶硅)，不同工艺(厚膜工艺，PCB工艺，MEMS工艺)。
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