柔性PET叉指电极IDE生物气体湿度传感器电容阵列
1.电极基材:聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET),厚度150 u m,
外形尺寸5mm*10mm。
2.线宽100 u m,线距100 u m,指长3.3mm。叉指对数:10对(20指)。3.金属层结构Cu/Ni/Au,厚度分别为12um,4 um,1 u m。
4.电极使用温度范围:-50℃~120℃。
5.主要用于各类化学,物理及医疗传感器,性能可靠,质量稳定。6.量大价格从优。
我们提供各种叉指电极,包括不同形状,不同尺寸,不同线宽线距,不同基材(氧化铝陶瓷,PI/PET柔性材料,单晶硅),不同工艺(厚膜工艺,DPC工艺,MEMS工艺)。