20μm叉指金电极单晶硅基电容阵列高精度科研生物传感器芯片MEMS
| 【编号】BK2021012609 | 【CAS号】cas | ||
| 【货号】BK2021012609 | 【规格】 | ||
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20um叉指电极硅基电容阵列MEMS气敏光敏湿敏生物传感器
1．外形尺寸:4mm*7mm*0.52mm.
2．线宽:30 u m，线距:20 u m，指长:1.4mm，叉指对数:26(52指)．
3．电极衬底为单晶硅，硅片表面生长Si02，厚度为300nm;
4.金属层结构:Cr/Au，厚度分别为10nm，100nm;
5.电极使用温度范围:-150℃～500℃;
6．主要用于各类化学，物理及生物传感器，性能可靠，质量稳定。
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