20μm硅基叉指电极电容阵列MEMS气体生物传感器光电检测高稳定性
| 【编号】BK2021012606 | 【CAS号】cas | ||
| 【货号】BK2021012606 | 【规格】 | ||
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1.外形尺寸:4mmr6.5mm*0.52mm.
2．线宽:20 um，线距:20 um，指长: 1.6mm，叉指对数:30(60 指).
3.电极衬底为单晶硅，硅片表面生长二氧化硅，厚度为300nm;
4．金属层结构:Ti/Au，厚度分别为30nm，100nm;
5.电极使用温度范围:-150℃～500℃;
6．主要用于各类化学,物理及医疗传感器，性能可靠，质量稳定。
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