3 μm硅基叉指电极电容阵列气体湿度生物传感器芯片MEMS高精度
| 【编号】BK2021012604 | 【CAS号】cas | ||
| 【货号】BK2021012604 | 【规格】 | ||
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1.电极衬底为单晶硅，硅片表面生长二氧化硅，厚度为300nm;外形尺寸: 4mm*6mm*0.52mm.
2．线距:3 u m，线宽:5u m，指长:1.5mm，叉指对数:120(240指).
3．金属层结构:Cr/Au，厚度分别为30nm，100nm;
4.电极使用温度范围:-150℃～500℃;
5.主要用于各类化学，物理及医疗传感器，性能可靠，质量稳定。6.量大价格从优。
我们提供各种叉指电极。包括不同形状，不同尺寸，不同线宽线距，不同基材（氧化铝陶瓷，PI/PET柔性材料，单晶硅），不同工艺（厚膜工艺，DPC工艺，MEMS 工艺）。
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