30 μm硅基叉指电极高精度高稳定性MEMS气体生物传感器电容阵列
| 【编号】BK2021012603 | 【CAS号】cas | ||
| 【货号】BK2021012603 | 【规格】 | ||
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1.外形尺寸:4mm*6mm*0.52mm.
2.线宽:30um，线距:30um，指长: 1.5mm，叉指对数:20(40指).3．电极衬底为单晶硅，硅片表面生长 SiO2，厚度为300nm;4.金属层结构:Cr/Au，厚度分别为10nm，100nm;
5.电极使用温度范围:-150℃～500°℃;
6.主要用于各类化学,物理及医疗传感器，性能可靠，质量稳定。7.量大价格从优。
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2.线宽:30um，线距:30um，指长: 1.5mm，叉指对数:20(40指).3．电极衬底为单晶硅，硅片表面生长 SiO2，厚度为300nm;4.金属层结构:Cr/Au，厚度分别为10nm，100nm;
5.电极使用温度范围:-150℃～500°℃;
6.主要用于各类化学,物理及医疗传感器，性能可靠，质量稳定。7.量大价格从优。
我们提供各种叉指电极，包括不同形状，不同尺寸，不同线宽线距，不同基材（氧化铝陶瓷，PI/PET柔性材料，单晶硅)，不同工艺（厚膜工艺，PCB工艺，MEMS 工艺）
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