二硅化钒 VSi2
| 【编号】BK2020112407 | 【CAS号】12039-87-1 | ||
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名称：二硅化钒
纯度：≥99.5单相
粒度：D50:5~10微米
密度：4.5g/cm3
性状：灰色金属粉末
用途：硅化钒合金靶材
硅化钒:化学式VSi2。分子量107. 11。金属状棱柱晶体。相对密度4. 42。不溶于冷水和热水，溶于氢氟酸，不溶于乙醇、乙醚和酸。制法:由按配比的五氧化二钒与硅于1200°C反应，或将按配比的金属钒直接于高温下与.硅反应可得。用途:用于制耐酸、耐火材料。
1.制备硅化钒薄膜。用大束流密度的钒金属离子注入硅，能够直接合成性能良好的薄层硅化物。随束流密度的增加，硅化钒相生长，薄层硅化物的方块电阻RS明显下降，当束流密度为25 μA/cm2时，Rs达到最小值22ψ，说明连续的硅化物已经形成。X衍射分析表明，注入层中形成了V3Si、V5Si3 、V3Si5和VSi2四种硅化钒。经过退火后，Rs明显地下降，Rs最小可降到9ψ，电阻率可小到72μ ψm，说明硅化钒薄层质量得到了进一步的改善，大束流密度注入和退火后，硅化钒相进一步生长。大束流密度注入和高温退火(1200 °C)仍然具有很低的薄层电阻率，这充分说明硅化钒具很好的热稳定性。透射电子微镜观察表明，连续硅化钒薄层厚度为80nm。
2.硅化钒是一种吸声陶瓷材料，在基体层表面涂覆具备吸声性能的表面层，两者结合制备得到吸声陶瓷材料，既具有吸声功能，又具备良好的防尘、.
防火等性能，使用寿命显著延长。
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