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离子减薄

离子减薄仪是透射电子显微镜的专用工具，用于制备具有大面积电子穿透区的样品。
对外服务项目：
1、主要用于制备透射电子显微镜的薄膜样品；
2、可用于金属、非金属、半导体、陶瓷、岩石等固体材料的显微镜透射样品制备；
3、低温和常温下的离子减薄。

喷碳

真空蒸镀碳膜（喷碳）真空蒸镀，金银镍铝等各种金属。

聚焦离子束系统（FIB）

聚焦离子束系统（FIB）：材料微纳结构的样品制备，包括：SEM在线观察下制备TEM样品、材料微观截面截取与观察、样品微观刻蚀与沉积等。

Zeiss Auriga聚焦离子束场发射扫描双束电镜
聚焦离子束场发射扫描双束电镜（FIB）是国际上纳米结构分析和材料微纳结构制备的先进设备。它配有电子束和Ga离子束，可以实现电子束与离子束的同时在线观测，具有束流稳定、分辨率高、纳米操控精确的特点，可以在纳米尺度的分辨率下对材料进行三维、高质量、高稳定性的显微形貌、晶体结构和相组织的观察与分析，及各种材料微区化学成分的定性和定量检测。
主要技术指标The main technical indicators：
SEM 分辨率Resolution： 1.0nm @ 15kV 1.9nm @ 1kV
放大倍数Mag.：12 ~ 1000,000x
加速电压EHT：0.1 ~ 30kV
FIB 分辨率Resolution：2.5nm @ 30kV
放大倍数Mag.：300×～ 500,000×
加速电压EHT：1.0 ~ 30Kv
配置Configuration
探测器Detector：Inlens二次电子探测器
E-T 二次电子探测器
ESB背散射电子探测器
X射线能谱仪 X-ray spectrometer
分辨率Resolution：127 eV @ MnKα
探测元素范围Detection range of elements： Be(4) ~ Fm(100)
EBSD探测器 EBSD Detector
空间分辨率Spatial resolution：50nm
主要功能：

1. 场发射扫描电镜（SEM）：各种材料形貌观察和分析，如金属、半导体、陶瓷、高分子材料、有机聚合物等
2. X射线能谱分析仪（EDS）：材料微区成分分析；MnKa峰的半高宽优于127eV；CKa峰的版高宽优于56Ev;FKa峰的半高宽优于64eV；元素Be4-U92;
3. 3D背散射电子取向成像系统（EBSD）：多晶材料的晶体取向和织构分析和3D重构；空间分辨率：优于50nm；探测器灵敏度：加速电压在3KV时，束流小于50pA能采集到花样；解析速度最大可达600点/s；测试能谱和EBSD 同步采集和一体化功能，选取实际样品进行三维EDS & EBSD测试；
4. 聚焦离子束系统（FIB）：材料微纳结构的样品制备，包括：SEM在线观察下制备TEM样品、材料微观截面截取与观察、样品微观刻蚀与沉积等。